Þú rekur ljósritunarsvæði 300 mm skífuverksmiðju — átta skanna, hreinherbergi og uppskrift sem verður að haldast innan forskriftar. Skífur raðast upp, tæki bila, agnir berast inn og afrakstur breytist við hverja ákvörðun.
Skífur sem sleppt er inn á svæðið á klukkustund.
Hlutfall skannatíma sem fer í tilraunalotur af skífum sem kenna ferlinu: minni afköst núna, færri gallar síðar.
Hver tæknimaður gerir við eitt tæki í einu.
Fleiri loftskipti þynna agnir; viftuafl vex með hraða í þriðja veldi.
Hver einstaklingur í hlífðarfatnaði losar samt agnir.
Skífur mældar á klukkustund: skarpara SPC-rit, örlítið minni afköst.
Tekur 3 klst. og bætir 2 manns við í herberginu meðan þeir vinna.
2 klst. á hálfum afköstum, síðan er ferlið aftur á markmiði.
| Aðgengi tækja | 100 % |
|---|---|
| Nýting tækja | 71 % |
| Verkfræðitími | 10 % |
| Losaðar skífuræsingar | 34 wph |
| Vinna í vinnslu | 20 wafers |
| Gallaþéttleiki | 0,110 /cm² |
| Ferilgeta Cpk | 1,25 · viðvörun |
| Utan forskriftar (skífuígildi) | 0,0 wph |
| Afl svæðis | 1339 kW |
Venjuleg vakt á farsímaflöguframleiðslulínunni. Einhvers staðar fyrir ofan svæðið er loftasía að fara að bila. Haltu hreinherberginu innan flokks, verndaðu afraksturinn — og skildu ekki viftur eftir á fullum hraða lengur en þörf krefur.
Svæðið gengur heitt á 38 skífuræsingum á klukkustund. Þrír skannar eru að fara að detta út í einu. Komdu í veg fyrir að röðin springi upp meðan þú kemur þeim aftur í gang, og skilaðu samt góðum kubbum.
Ný uppskriftarútgáfa fór í loftið í gærkvöldi. Enginn veit enn að hún færir mikilvæga víddina hægt til. Fylgstu með SPC-ritinu: gríptu rekið og snúðu til baka áður en skífur falla utan forskriftar.
Stór hraðalsflaga fer í framleiðslu með óþroskuðu ferli: gallaþéttleiki er hár og 600 mm² kubbur er óvæginn. Línan er hlaðin á 42 skífuræsingum á klukkustund. Þú hefur 14 daga. Jafnaðu afköst í dag á móti námi fyrir morgundaginn.
Hvert samband sem hermirinn notar, með heimild. Fastar merktir sem forsendur eru táknrænar kvarðanir.
Availability = up tools / 8 · Utilization = productive tool-hours / total[1]P(fail in Δt) = 1 − e^(−Δt/MTBF), MTBF = 250 h; repair ~ Exp(mean 6 h) once a technician is free[17][1]Forsenda: stærðargráður (MTBF, myndunarhraði, k, τ) eru táknrænar kvarðanir, ekki gögn úr raunverulegri verksmiðju.CT = WIP / TH = T0 + queue / TH, T0 = 1 h[6][5]TH = release rate while u < 1 ⇒ wafers out ≈ Σ starts; queue wait = CT − T0 = queue / TH ≤ queue-time window (3.5 h CT in semi-tool-crash)[5][16]Forsenda: 3,5 klst. mörkin á hringrásartíma standa fyrir biðtímaglugga (queue time); raunverulegir gluggar eru ákveðnir skref fyrir skref af ferlaverkfræðingum og skífum sem brjóta þá er yfirleitt fargað.CTq ≈ ((ca² + ce²)/2) · (u/(1−u)) · te[5]Sýnt til skilnings: biðröð hermisins verður til úr handahófskenndum komum og handahófskenndri afkastagetu frekar en úr þessari formúlu.Cn = 10^N · (0.1/D)^2.08 ⇒ N = log10(C≥0.1µm)[2]C = G / (ACH · V · η)[13][11]Forsenda: stærðargráður (MTBF, myndunarhraði, k, τ) eru táknrænar kvarðanir, ekki gögn úr raunverulegri verksmiðju.P_fan = P_max · (speed)³[10]Y = (1 + A·D/α)^(−α), α = 2 (α→∞: Y = e^(−A·D))[3][4][15][14]D(t+Δt) = D∞ + (D − D∞)·e^(−Δt/τ), τ = 120 h · (0.10 / engineering share)[15][18]Forsenda: τ er tímaþjappað um það bil 100-falt miðað við tilkynnt námshlutfall í greininni (4–6,5 % á mánuði, Leachman) svo að 14 daga sviðsmynd sýni áhrifin.D_total = D_learn + k · C, k = 4·10⁻⁶ cm⁻² per particle/m³Forsenda: táknrænn fasti — raunverulegar verksmiðjur kvarða tíðni banvænna galla út frá eigin skoðunargögnum.Y_param = Φ((USL−μ)/σ) − Φ((LSL−μ)/σ), Cpk = min(USL−μ, μ−LSL)/(3σ)[7][8][19]x̄ ~ N(μ, σ/√n), control limits ±3σ/√n; zone rules (2 of 3 beyond 2σ, 4 of 5 beyond 1σ, 8 on one side)[8][7][12]8 scanners × 6 wafer-starts/h · metrology −0.5 % capacity per sampled wafer/h · rollback: 2 h at half capacity + 4 wafer-equivalents reworked · drift 0.25 nm/h · crash repair 18 technician-hours · leak crew +2 people for 3 h · tools 150 kW busy / 60 kW idle, fans 150 kW at 100 %Forsenda: stærðargráður (MTBF, myndunarhraði, k, τ) eru táknrænar kvarðanir, ekki gögn úr raunverulegri verksmiðju.DPW = π·d²/(4A) − π·d/√(2A), d = 300 mm[9]Handahóf: seeded mulberry32 rafall; dreifingar sem notaðar eru — jöfn, veldis (andhverf CDF), normal (Box–Muller), Poisson (Knuth). Fræið er sýnt og hægt að deila því.
Fræðslulíkan — ekki til notkunar við ákvarðanir í rekstri. Raunverulegar aðstöður stilla alla fasta eftir eigin búnaði og gögnum.